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片狀樣品室（PN: 75040062)用于大面積樣品或需要均勻?yàn)R射樣品的分析；通過(guò)片狀電極設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)等離子體的均勻分布，適合 常規(guī)樣品的高通量分析；塊狀金屬、半導(dǎo)體晶圓、大面積樣品的常規(guī)分析。

針狀樣品室（PN: 75040063)用于 小面積樣品或需要高能量密度的分析；通過(guò)針狀電極設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)局部高能量聚焦，適合痕量元素分析和微區(qū)分析；針狀樣品、微區(qū)分析、復(fù)雜樣品的高靈敏度檢測(cè)。